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飛秒激光應(yīng)用于玻璃加工

來源: 2015/6/18 11:18:21

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  要理解為什么超快脈沖較適用于微加工,需要從材料加工的時間尺度這個角度來看待。大家都了解激光器在加工過程中對材料造成的損害,但飛秒脈沖激光器和持續(xù)時間超過皮秒的脈沖激光器所產(chǎn)生的損害存在重大差異。在大多數(shù)材料中,聲子是熱效應(yīng)較主要的原因,它至少需要1皮秒的激光曝光來激發(fā)。而對于飛秒激光器脈沖來說,曝光時間要低于這一限定。因此,由于飛秒脈沖不到1皮秒就會中止,離子不會被電子熱激發(fā)。焦點區(qū)外的導(dǎo)熱被降到較小,從而增加加工的精度。此外,飛秒激光材料加工具有高準(zhǔn)確性,因為造成吸收效應(yīng)的種子電子是通過非線性電離化產(chǎn)生,并不需要缺點電子。由于非線性激發(fā)的重復(fù)性和限制,飛秒激光微加工可以用于實際用途,而其他方法則行不通。
  
  由于這一加工所需脈沖能量相對較高,所以直到較近,使用超短脈沖加工玻璃雖為人熟知卻并未得到廣泛應(yīng)用。
  
  能提供這一級別脈沖能量的激光器只有固體激光器,其操作相對復(fù)雜,且價格昂貴。在過去的幾年光纖激光器技術(shù)不斷進(jìn)步,已能夠提供短脈沖和高質(zhì)量光束,成為固體激光器的重要替代產(chǎn)品。
  
  此外,光纖激光器更為劃算、緊湊、可靠,而且由于其不需要校準(zhǔn),因此也更易于操作。微焦耳范圍內(nèi)的超快光纖激光器設(shè)計人性化,價格便宜,其發(fā)展正將這一技術(shù)從利基應(yīng)用轉(zhuǎn)變?yōu)橐环N被廣泛采用的工業(yè)加工工具(圖4)。應(yīng)用范圍包括產(chǎn)品認(rèn)證,玻璃切割,以及次表面光波導(dǎo)等。

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  圖4:飛秒光纖激光器切割玻璃示例。

  應(yīng)用
  
  在超短脈沖作用下對金屬進(jìn)行表面紋理化和粗化處理,結(jié)果顯示,其對工藝的控制和精度都非常滿意,能粗化處理生物醫(yī)學(xué)植入片來增加細(xì)胞粘合度,能夠?qū)EDs和太陽能電池進(jìn)行薄膜蝕刻,使其增效。使用噴砂處理和化學(xué)蝕刻等常用方式對玻璃表面進(jìn)行紋理化處理,其精度適中,對式樣有一定的限制,而且通常會產(chǎn)生細(xì)微裂紋,降低了成品玻璃的耐用性。
  
  因此,光纖激光器在玻璃表面紋理化處理中有著相當(dāng)重要的作用,特別是像制造疏水性/親水性玻璃表面等應(yīng)用。近來,使用超短脈沖激光器對玻璃表面加工能夠達(dá)到同樣甚至更好的潤濕性,其表面加工應(yīng)用前景一片光明。他們能一體控制表面加工的流程模式,使其得以較優(yōu)化液態(tài)玻璃相互作用。超短脈沖光纖激光器的另外一種較具前景的應(yīng)用是焊接玻璃。較為廣泛的應(yīng)用方法是使用化學(xué)物質(zhì)將兩塊玻璃粘貼在一起。這一方法非常大的缺點在于所使用的大多數(shù)化學(xué)物質(zhì)會釋放出一些氣體,從而造成玻璃間的粘結(jié)力量不斷減弱。另外一種方法是將玻璃表面拋光后,將兩塊玻璃放在一塊,然后通過熱處理粘貼在一起。這一方法也存在缺點,特別是對兩種不同類型的玻璃進(jìn)行粘貼時。由于玻璃的熱膨脹系數(shù)不同,經(jīng)過熱處理后玻璃間的粘結(jié)力量也會變?nèi)。近來,高重?fù)頻率(兆赫)和高脈沖能量(微焦耳)超短脈沖激光器已開始應(yīng)用于玻璃焊接。當(dāng)超短脈沖聚焦于需要焊接的兩塊玻璃的交會處,每塊玻璃都會溶化一小塊,然后在一塊冷卻,從而形成強大的粘結(jié)力量。正確地選擇較佳的超短激光器進(jìn)行焊接,可獲得和玻璃本身一樣的粘結(jié)力量(圖5)。

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  圖5:使用飛秒脈沖對兩塊玻璃進(jìn)行激光粘結(jié)。

  在光學(xué)和光子學(xué)行業(yè)中的另外一個重要應(yīng)用,也許只能利用超短脈沖激光器來完成在玻璃內(nèi)部刻寫波導(dǎo),從而以三維的方式引導(dǎo)光。當(dāng)超短脈沖聚焦于玻璃內(nèi)部,在聚焦體積上發(fā)生折射率的變化,通常是折射率變大。通過使用位移平臺來掃描玻璃,折射率加大的區(qū)域可以用于形成路徑。和光纖工作原理類似,光可以使用全內(nèi)置反射機(jī)制,通過這些路徑進(jìn)行引導(dǎo)。
  
  使用這一方法可以用三維光子來將光從一個地方引導(dǎo)和傳遞到另一個地方,組合或分離不同波長的光,在玻璃內(nèi)部制造光柵或棱鏡結(jié)構(gòu)等。因此,在玻璃內(nèi)部進(jìn)行超短激光波導(dǎo)刻寫(圖6)較為重要,因為光電技術(shù)有望主要通信、生物醫(yī)藥和傳感器技術(shù)等主要由電子技術(shù)支撐的技術(shù)。

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  圖6:直觀展示在玻璃內(nèi)部刻寫波導(dǎo)的原理圖。

  飛秒激光微加工為三維、材料和亞波長準(zhǔn)確加工提供了獨特的性能,也讓在玻璃等透明材料中進(jìn)行三維結(jié)構(gòu)制造成為可能,而且比光刻更為簡便。飛秒微加工領(lǐng)域正飛速發(fā)展,這一技術(shù)有望打破微加工領(lǐng)域。這是一種為激光業(yè)開創(chuàng)新領(lǐng)域和新市場的技術(shù),并將推動優(yōu)異應(yīng)用的發(fā)展,以不同的方式影響未來的技術(shù)。
  
  

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